特許
J-GLOBAL ID:200903068591278885

酸素センサ素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 祥泰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-289092
公開番号(公開出願番号):特開平8-128988
出願日: 1994年10月28日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【目的】 耐熱性と応答性が共に優れた,酸素センサ素子及びその製造方法を提供すること。【構成】 固体電解質10における被測定ガス側の表面に,突出した導電性の骨格電極11を有していると共に,該骨格電極11の間には固体電解質10が露出したポア部を有する。少なくとも上記ポア部の全表面にはこれを被覆する反応電極12を形成してなる。また,酸素センサ素子の製造方法は,第一金属膜を所望の厚みに形成し,次いで加熱して,上記第一金属膜を凝集させて,ポア部を形成すると共に,突出した骨格電極11を設ける。その後,上記ポア部の表面に,所望の厚みの第二金属膜を形成することにより反応電極12を設ける。
請求項(抜粋):
固体電解質における被測定ガス側の表面に,突出した導電性の骨格電極を有していると共に,該骨格電極の間には固体電解質が露出したポア部を有し,また,少なくとも上記ポア部の全表面にはこれを被覆する反応電極を形成してなり,かつ,上記各ポア部のポア面積(SP)は,該各ポア部上に存在する上記反応電極が加熱によって凝集した際においても,該反応電極の電気的分断を阻止しうる大きさに設けてあることを特徴とする酸素センサ素子。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭56-092447
  • 特開昭52-050290
  • 特開昭54-137394

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