特許

J-GLOBAL ID：200903068591499466

基板検査装置

発明者： 泉木 敬
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335202
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162237
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 テストピンと測定部との間の線材を除去すると同時に、テストピンの位置確認、調整及び追加等も容易にこれらを行うことができる基板検査装置を提供する。【解決手段】 被検査基板20のテストランド20aに一方の先端が当接するように透明なアクリル板25に多数分散してテストピン24を配設し、各テストピン24の他方の先端はアクリル板25に対し空間を介して配設した回路搭載ピン専用ボード26のテストランド26aに当接するように形成して両テストランド20a、26aの電気的な接続を確保するとともに、回路搭載ピン専用ボード26の裏面に配線パターンを形成して各テストピン24と測定部とを接続する線材を除去することができるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

透明な材料の平板で形成した透明ボードと、この透明ボードに空間を介して平行になるようにこの透明ボードに着脱可能に取り付けた回路搭載ピン専用ボードとを有し、さらに一端が被検査基板のテストランドに当接してこのテストランドとの電気的な接触を可能にするとともに、他端が回路搭載ピン専用ボードのテストランドに当接してこのテストランドとの電気的な接続を確保すように多数のテストピンを上記透明ボードに分散して垂直に配設する一方、上記被検査基板の検査のための配線パターン等、検査のための回路の一部を、上記回路搭載ピン専用ボードのテストランドに電気的に接続した状態でこの回路搭載ピン専用ボードに形成したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 1/073 D ,  G01R 1/067 C ,  G01R 31/28 K

Fターム (14件)：

2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC12 ,  2G011AC14 ,  2G011AF07 ,  2G032AA00 ,  2G032AB02 ,  2G032AE17 ,  2G032AF02 ,  2G032AL03