ビジュアル型X-Y方式インサーキットテスタ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳沢大作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-191078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035935
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】モデルの対象物を画像的なモデルとしての登録性の難易に従い、検索すべき電子部品等にするかその他のものにするか選択することによって、検査の信頼性を高め、検査をスピード化する。【構成】画像カメラ16と、モデル対象物の画像を作成する手段34と、モデルの種別を選択する手段36と、検索時の画像中にモデルと同じものがあったら良の判定をすべきモデルとあったら不良の判定をすべきモデルとに区別して登録する手段38と、検索対象物の画像を作成する手段40と、画像中にモデルと同じものがあるか判定する手段42と、判定結果を出力する手段44とを備える。

請求項（抜粋）：

X-Y方式により可動するZ軸ユニットに備えた画像カメラと、その画像カメラで順次写したモデル登録用の基板上にある各種のモデル対象物の画像を作成するモデル登録用画像取込手段と、それ等の各画像に含まれるモデルが検索時の画像中にモデルと同じものがあったら良の判定をすべきモデルか否か決定してモデルの種別を選択するモデル種別選択手段と、それ等の各モデルの種別を判定し、各モデルを検索時の画像中にモデルと同じものがあったら良の判定をすべきモデルとあったら不良の判定をすべきモデルとに区別して登録するモデル登録手段と、画像カメラで順次写した被検査基板上にある各検索対象物の画像を作成する検索用画像取込手段と、それ等の各画像中にモデルと同じものがあるか判定する画像判定手段と、それ等の各判定結果に基づいてあったら良の判定をすべきモデルの場合にはOK処理をし、あったら不良の判定をすべきモデルの場合にはNG処理をする出力手段とを備えることを特徴とするビジュアル型X-Y方式インサーキットテスタ。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G01R 31/28 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/28 H , G06F 15/62 405 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-173171
特開昭63-173171

前のページに戻る