半導体デバイスに材料を堆積させるシステム及びその方法並びに発光ダイオード

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-527912
公開番号（公開出願番号）：特表2009-506532
出願日： 2006年06月22日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：

発光ダイオード(LED)に蛍光物質材料を電気泳動堆積(EPD)させるための1つの密閉ループシステム及びその方法に関する。このEPDシステムは、周囲空気から密閉された堆積チャンバを備えている。蛍光材料と溶液の混合物が、チャンバに供給され、この混合は、また周囲空気から密閉されている。キャリアがLEDのバッチをチャンバ中に保持し、混合物が蛍光物質堆積のためのLEDの領域に接触している。蛍光材料が混合物接触領域のLEDに堆積するように、電圧供給源がLEDと混合物に電圧を加える。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスに材料を堆積させるシステムであって、前記半導体デバイスを保持し、周囲空気から密閉されたチャンバと、前記チャンバ中の堆積材料であり、周囲空気から密閉された液体混合物と、前記堆積材料が、前記半導体デバイスに堆積するように前記半導体デバイスと前記混合物に電圧を加えるための電圧供給源とを備えていることを特徴とするシステム。

IPC (1件)：

H01L 33/00

FI (2件)：

H01L33/00 F , H01L33/00 N

Fターム (9件)：

5F041AA12 , 5F041AA31 , 5F041CA77 , 5F041CB36 , 5F041DA13 , 5F041DA20 , 5F041DA82 , 5F041DB08 , 5F041FF11

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5959316号明細書
欧州特許出願第1198016A2号

審査官引用 (1件)

蛍光体変換発光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-170094 出願人：ルミレッズライティングユーエスリミテッドライアビリティカンパニー

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