特許

J-GLOBAL ID：200903068612027586

結晶歪み測定方法、結晶歪み測定装置及び記録媒体

発明者： 井手 隆
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-250354
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065762
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】マイクロラマン法などの従来法よりも空間分解能が高く、結晶の微小な領域での歪みや欠陥を調べることができる結晶歪み測定方法を提供する。【解決手段】試料の透過型電子顕微鏡像をデジタル画像化しコンピュータに取り込み(ステップ51)、デジタル2次元複素フーリエ変換をすることによって回折パターンを求め(ステップ53)、その回折パターン中の一つあるいは複数の回折スポット位置を求め(ステップ54)、理想的な結晶構造の場合の回折点位置と比較することで(ステップ55)、結晶格子の歪みを検出する。また、このスポット位置から格子面間隔やその面の方向、あるいは歪みによる変形行列を計算し、理解しやすい歪み情報とする。さらには、複数の領域でこの操作を行い、場所による歪みの相対的な変化を調べたり、これらの量をマッピングすることによって歪みを画像化する。

請求項（抜粋）：

試料の透過型電子顕微鏡像から前記試料での結晶に関する情報を取得する結晶歪み測定方法であって、前記透過型電子顕微鏡像をデジタル画像に変換する工程と、前記デジタル画像の少なくとも一部の領域に対して2次元フーリエ変換を施して当該領域の回折パターンを計算する工程と、を有する結晶歪み測定方法。

IPC (4件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 ,  G06T 1/00 ,  H01J 37/295

FI (4件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/295 ,  G06F 15/62 380

Fターム (28件)：

2F067AA45 ,  2F067AA65 ,  2F067BB00 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK06 ,  2F067KK09 ,  2F067LL16 ,  2F067RR14 ,  2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001FA01 ,  2G001FA18 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001KA08 ,  2G001LA11 ,  5B057BA01 ,  5B057CG05 ,  5B057DA07 ,  5B057DA16 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC22