特許

J-GLOBAL ID：200903068614117566

プローバ

発明者： 宮城 雄治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251547
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】ウエハキャリアに取付けたバーコードを利用したプローバの集中管理システムで、プローバ本体のローダに設置したバーコード読取装置で読み込むことにより、ホストのデータとウエハキャリアに収納した製品を完全に一致させること。【構成】測定プローバ本体2のローダ3a、3bにウエハキャリア9aをセットし、読取装置4a、4bで読取り、判別部5aでウエハキャリアがセットされたローダとバーコードデータの関連づけを行い、制御部6aを通して、ホスト7へデータを送り、バーコードデータをインデックスとしたファイルを作り、測定したウエハ1枚毎の測定データを保管していく。次に、マーキングプローバへウエハキャリア9をセットした時、同様にバーコードデータをホストへ送り、マーキングデータを呼び出すので、人為的ミスが発生する要素を完全に無くすことができる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハ検査工程で自動的にウエハキャアから前記ウエハをプロービングステージへ供給収納できるローダを有するプローバにおいて、前記ウエハキャリアの一部に取付けたバーコードを読み取るための読取装置と前記読取装置で読み取ったバーコードデータと前記ローダの対応を判別するための判別部と、プローバ本体の制御部を設けたことを特徴とするプローバ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-216534
  
• 特開昭63-169738
  
• 特開昭63-220513