特許

J-GLOBAL ID：200903068616400141

薄膜梁及びその成形方法

発明者： 望月 文彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-113093
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314251
出願日： 2003年04月17日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】薄膜梁の製造時或いは駆動動作時における破損等の不具合をなくし信頼性を向上させる。【解決手段】ガラス基板13上にパターニングされたアルミニウム成膜からなる犠牲層とこの犠牲層を跨ぐ薄膜層とを順に積層させ、犠牲層を除去することにより、ガラス基板13に固定された固定部15aと、固定部15aから立設された一対の支持部15bと、これら支持部15bによって両端が支持されてガラス基板13との間に所定の隙間をあけて支持された可動部15cとを有する薄膜梁15を成形する。このとき、固定部15aと支持部15bとの連結点A及び可動部15cと支持部15bとの連結点Bをそれぞれ結ぶ直線Lと、ガラス基板13の表面とのなす角度αを60°以下とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板上にパターニングされた犠牲層と該犠牲層を跨ぐ薄膜層とをこの順で積層した後に前記犠牲層を除去して形成された可撓性を有する薄膜梁であって、 前記薄膜梁が、前記基板に固定された固定部と、該固定部から立設された一対の支持部と、該支持部によって両端が支持されて前記基板との間に所定の隙間をあけて支持された可動部とを有し、 前記固定部と前記支持部との連結点及び前記可動部と前記支持部との連結点をそれぞれ結んだ直線と、前記基板の表面とのなす角度が60°以下とされていることを特徴とする薄膜梁。

IPC (4件)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C23F1/20 ,  G02B26/08

FI (4件)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C23F1/20 ,  G02B26/08 E

Fターム (11件)：

2H041AA12 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  4K057WA11 ,  4K057WA20 ,  4K057WB05 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WE12 ,  4K057WN04