特許

J-GLOBAL ID：200903068630249057

静電チャック、それを有する荷電粒子線露光装置、ウエハ保持方法及びそれを用いたデバイス製造方法

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325463
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144168
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 ウエハを全面的に静電チャックに容易に吸着することができる静電チャックを提供する。【解決手段】本発明の静電チャックは、電極が、中央部60a及び一部の周辺部(特定周辺部60b)からなる第一領域60cと、特定周辺部60b以外の周辺部(一般周辺部60d)からなる第二領域とに分割されている。チャック開始時に、第一領域60cの電極に電圧が印加され、ウエハの被吸着面の特定周辺部がチャック面に吸着される。これに伴い、静電チャックの特定周辺部につながる中央部でのウエハと静電チャックの隙間が狭くなるので、中央部でのチャック圧力Pが上がる。このため、ウエハの反りが矯正されながら、その中央部がチャック面に吸着される。そして、ある遅れ時間の後に第二領域60dの電極に電圧が印加される。

請求項（抜粋）：

基盤と、該基盤の上面に配置された電極と、該電極上を覆うように形成された絶縁層と、電極の制御回路と、を備える静電チャックであって;上記電極が、上記基盤上面の中央部及び一部の周辺部(特定周辺部)からなる第一領域と、該特定周辺部以外の周辺部(一般周辺部)からなる第二領域とに分割されており、上記電源制御回路が、チャック開始時に、まず上記第一領域の電極に電圧を印加し、次いである遅れ時間の後に上記第二領域の電極に電圧を印加することを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 ,  H01L 21/30 541 L

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA19 ,  5F031MA27 ,  5F046CC08 ,  5F056AA22 ,  5F056BA10 ,  5F056BB10 ,  5F056CC03 ,  5F056EA17