ケミカルフィルター

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187473
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015046
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、有害なイオン性物質を効率よく除去するケミカルフィルターであって、クリーンルーム内の再汚染を極力防止したケミカルフィルターを提供することにある。【解決手段】本発明者らは検討した結果、有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、気相中に該ケミカルフィルターから発生するガス成分のうち、フェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下であることを特徴とするケミカルフィルターによって上記課題を解決した。更に、有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、少なくとも減圧下でフェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下となるまで、該ケミカルフィルターに吸着した揮発成分を除去してなることを特徴とするケミカルフィルターによって上記課題を解決した。

請求項（抜粋）：

有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、気相中に該ケミカルフィルターから発生するガス成分の内、フェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下であることを特徴とするケミカルフィルター。

IPC (5件)：

B01D 53/34 , B01D 53/81 , B01D 53/04 , B01D 53/14 , B01J 47/12

FI (4件)：

B01D 53/34 B , B01D 53/04 A , B01D 53/14 A , B01J 47/12 E

Fターム (43件)：

4D002AA33 , 4D002AA40 , 4D002AC10 , 4D002BA03 , 4D002BA04 , 4D002CA07 , 4D002DA70 , 4D002EA06 , 4D002EA20 , 4D002GA01 , 4D002GA02 , 4D002GB01 , 4D002GB02 , 4D002GB03 , 4D002GB04 , 4D002GB08 , 4D002GB20 , 4D002HA03 , 4D002HA10 , 4D012CA10 , 4D012CB01 , 4D012CB05 , 4D012CE02 , 4D012CE03 , 4D012CF02 , 4D012CF03 , 4D012CF04 , 4D012CF10 , 4D012CG04 , 4D012CG10 , 4D012CK05 , 4D020AA08 , 4D020BA21 , 4D020BB10 , 4D020CA05 , 4D020CC14 , 4D020CD03 , 4D020DA01 , 4D020DA02 , 4D020DB01 , 4D020DB02 , 4D020DB03 , 4D020DB04

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