特許
J-GLOBAL ID：200903068640669852
イメージセンサの試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027030
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244396
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】イメージセンサに均一な光強度分布で試験光の光束を投光してその複数個の光センサの光検出感度のばらつきを正確に試験できるようにする。【構成】イメージセンサ10に投光すべき試験光Ltを白熱電灯31や反射板32を備える光源30により発生させ、その光束を小レンズ41を面状に配列した複眼状の集合レンズ体40に光ファイバ34やロッド状の光導体42を介し与えて小レンズ41の各焦点に集光することにより、試験光Ltの分布がほぼ均一な光束に変換した上で光拡散箱50にその入射窓53から与え、その拡散性の内面で反射させながら内部に閉じ込めた試験光Ltを乳白色ガラス等の光拡散性の窓材55を備える出射窓55から拡散性光束Ldの形で出射してイメージセンサ10に投光する。
請求項（抜粋）：
イメージセンサの複数個の光センサの光検出感度のばらつきを試験する方法であって、光源により発生した試験光を小レンズを面状に配列した集合レンズ体に与え、集合レンズ体からの試験光の光束を光拡散箱に入射窓から与え、その光拡散性の出射窓から取り出した試験光をイメージセンサに投光して光センサの光検出感度を試験するようにしたことを特徴とするイメージセンサの試験方法。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G01M 11/00
, H01L 21/66
