急速圧力制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350944
公開番号（公開出願番号）：特開平5-158555
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】圧力調整時間を短縮し、パーティクルの巻上げを防止する。【構成】ガス供給系は通常プロセスで使用するガス導入弁8と、これに連通するガス分散板10又はガス導入ポート6とよりなるガス供給系21とは別にソフトリーク弁9と、これに連通するソフトリークポート11とよりなるソフトリーク用ガス供給系22を設け、排気系6はゲートバルブ2,可変コンダクタンスバルブ3及び排気装置とよりなる。

請求項（抜粋）：

大気圧及び1気圧以下の圧力に保持可能な容器(1)と、該容器(1)にガスを供給するガス供給系と、該容器(1)内の気体を排気する排気系(6)と、これらを制御する制御系(14)よりなる圧力制御装置において、前記ガス供給系は通常プロセスで使用するガス導入弁(8)と、これに連通するガス分散板(10)又はガス導入ポート(16)とよりなるガス供給系(21)とは別にソフトリーク弁(9)と、これに連通するソフトリークポート(11)とよりなるソフトリーク用ガス供給系(22)を設け、前記排気系(6)はゲートバルブ(2),可変コンダクタンスバルブ(3)及び排気装置とよりなる急速圧力制御装置。

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