特許
J-GLOBAL ID：200903068644204455
レーザ用反射鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211318
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063907
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】高出力レーザに使用するレーザ用反射鏡の光に対する耐久性を高め、吸収、散乱等のロスを低減し、経済性の向上を行う。【構成】基板1表面に、高屈折率物質2と低屈折率物質3を交互に積層し、多層膜を形成する。光の入射側にあたる多層膜の最上層側の高屈折率物質には、光に対する耐久性のある高屈折率物質4を用いる。これにより、光の強度の強い最上層側の光に対する耐久性を高め、更に、光強度の弱い下層側については、低出力用反射鏡と同じ高屈折率物質2を用いることにより、多層膜の膜層数を削減し、吸収、散乱を抑制すると共に、経済性に優れたレーザ用反射鏡の作成を可能にする。
請求項（抜粋）：
レーザ共振器の光軸上の両端に配置する一対のレーザ用反射鏡において、前記レーザ用反射鏡は、基板と基板表面上に高屈折率物質と低屈折率物質を交互に積層したコーティング膜により構成され、前記高屈折率物質の内、コーティング膜表面側高屈折率物質の1層または、数層の屈折率については、基板側高屈折率物質の屈折率に比較して、屈折率の低い物質で構成することを特徴とするレーザ用反射鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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