特許
J-GLOBAL ID：200903068646187981
蛍光X線分析用試料ホルダ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009665
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハ等の所定の直径を有する円板状の試料を自動分析する蛍光X線分析装置において、破片や小径の試料を分析する場合でも、所定の直径の試料と同様に取り扱える試料ホルダを提供する。【解決手段】 所定の直径を有する円板状の台座2 と、その台座2 上に固定され、小径試料4 の外周を保持する保持具3 とを備える。
請求項（抜粋）：
所定の規格のカセットに収納される所定の直径を有する円板状の試料を、カセットから自動搬送して1次X線を照射し、試料から発生する2次X線を検出する蛍光X線分析装置において、前記所定の直径よりも小さい直径を有する円板状の小径試料を分析する場合に用いられる試料ホルダであって、前記所定の直径を有する円板状の台座と、その台座上に固定され、前記小径試料の外周を保持する保持具とを備えた試料ホルダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/223
, G01N 1/28 W
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA01
, 2G001PA02
, 2G001PA06
, 2G001QA02
, 2G001QA10
