特許

J-GLOBAL ID：200903068648923650

プラズマ発生装置

発明者： 永山 貴久 ,  中村 有美子 ,  藤下 直光
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135901
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349594
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 プラズマを起こし難いガスを用いるときでも、プラズマを確実に発生させ、かつそれを安定させることを目的とする。【構成】 プラズマを生成し始めるときは、パルス発生手段15により通常より高い電圧をパルス状にしてマグネトロン2に印加する。これにより、マグネトロン2は、高パルスのマイクロ波を発生する。

請求項（抜粋）：

低圧下で電子サイクロトロン共鳴によりプラズマを生成するプラズマ発生装置において、前期プラズマを発生させる時は、連続で供給するときより高い出力のパルス状としたマイクロ波を供給するマイクロ波供給手段を有することを特徴とするプラズマ発生装置。