特許
J-GLOBAL ID：200903068655009565
インクジェット記録ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085530
公開番号（公開出願番号）：特開平7-266569
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 工数の低減を達成するとともに、精度の良い位置合わせを容易にする。【構成】 インクジェット記録ヘッド10は、インク滴を吐出するインク吐出口12が設けられたオリフィスプレート14と、インク吐出口12からインク滴を吐出させる発熱素子が設けられたサーマルヘッド基板18とを備えている。インクジェット記録ヘッド10の製造方法は、まず、オリフィスプレート14をガラス基板20に複数形成すると共に、サーマルヘッド基板18をシリコンウェーハ22に複数形成する。続いて、ガラス基板20とシリコンウェーハ22とを接合する。その後、個々のインクジェット記録ヘッド10に分離する。
請求項（抜粋）：
インク滴を吐出するインク吐出口が設けられたオリフィスプレートと、前記インク吐出口から前記インク滴を吐出させる発熱素子が設けられたサーマルヘッド基板とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記オリフィスプレートをガラス基板に複数形成すると共に、前記サーマルヘッド基板をシリコンウェーハに複数形成し、前記ガラス基板と前記シリコンウェーハとを接合した後、個々のインクジェット記録ヘッドに分離することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
