特許

J-GLOBAL ID：200903068655302092

低抵抗のブラッグ反射層を備えた表面発光レーザ

発明者： ケイス ブライアン カーヘン ,  ギルバート エー ホーキンス
出願人/特許権者： イーストマン・コダツク・カンパニー
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028718
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283808
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 低抵抗で高反射率のミラー反射層を有する垂直空洞表面発光レーザを提供することを目的とする。【構成】 垂直空洞表面発光レーザ28は、特定の伝導型の下部クラッド層36、及び反対の伝導型の上部クラッド層44を含む。下部クラッド層36は、半導体基板30上に設けられ、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、λ/ 2ブラッグ反射層を形成するように蒸着される。上部クラッド層44は、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、複数層の反射層を形成するように蒸着される。

請求項（抜粋）：

1つの伝導型の半導体基板と、該半導体基板上に形成された同じ伝導型の下部クラッド層で、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、λ/ 2ブラッグ反射層を形成する下部クラッド層と、該下部クラッド層上に形成された半導体活性層と、該半導体活性層上に形成された反対の伝導型の上部クラッド層で、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、複数層の反射層を形成する上部クラッド層と、該上部クラッド層上に形成される、該上部クラッド層と同じ伝導型のキャップ層と、前記基板及び該キャップ層上に形成された電気伝導型層と、を有することを特徴とする垂直空洞表面発光レーザ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-233270
  
• 特開昭62-080364