特許

J-GLOBAL ID：200903068659123354

真空紫外光散乱率測定装置

発明者： 斎藤 旬
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-019492
公開番号（公開出願番号）：特開2003-214980
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】良好な真空紫外光伝搬空間を測定装置内に作るには、3時間以上の時間を要し、複数の光学部材を測定する場合、何日間もの時間を要するという問題がある。【解決手段】光学部材の散乱率を測定する散乱率測定装置であって、前記光学部材に真空紫外光を照射する装置本体と、接続手段を介して前記装置本体に接続される本体接続室とからなり、前記本体接続室の気体は、前記装置本体内部の気体とほぼ同じである構成の散乱率測定装置を提供する。

請求項（抜粋）：

光学部材の散乱率を測定する真空紫外光散乱率測定装置であって、前記光学部材に真空紫外光を照射する装置本体と、接続手段を介して前記装置本体に接続される本体接続室とからなり、前記本体接続室の気体は、前記装置本体内部の気体とほぼ同じであることを特徴とする真空紫外光散乱率測定装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/47

FI (2件)：

G01M 11/00 M ,  G01N 21/47 Z

Fターム (15件)：

2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG00 ,  2G059GG05 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ16 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G086KK05