アライメント装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165978
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012530
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 2波長の光を用いてヘテロダイン干渉方式でアライメントを行う際に、2波長の干渉縞の縞ずれ量を高精度に調整し、ウエハ上で縞ずれ調整を行っても、レチクルマークから得られるビート信号が影響を受けないようにする。【解決手段】レーザ光源11,12からの2色の照明光によりレチクルマーク及びウエハマークを照明する。レチクルマークからの回折光の内でレーザ光源11の波長成分を色フィルタ29を介して光電検出素子30に導き、ウエハマークからの2色の回折光を光電検出素子31に導き、光電検出素子30及び31よりそれぞれビート信号SR 及びSW を得る。レーザ光源12を消灯したときのビート信号SW の情報と、レーザ光源11,12を共に点灯したときに得られるビート信号SW の情報とより、仮想的にレーザ光源11を消灯させたときのビート信号SR,SW の位相差を求め、これに基づいて縞ずれ量を調整する。

請求項（抜粋）：

露光用の照明光のもとでマスク上に形成されたパターンを投影光学系を介して感光基板上に投影する露光装置に設けられ、前記感光基板上に形成された回折格子状マークに基づいて前記感光基板の位置合わせを行うアライメント装置において、第1の波長で所定の周波数差を有する2光束を所定の参照格子に照射すると共に、前記投影光学系を介して前記回折格子状マークに照射する第1の光照射手段と、前記第1の波長と異なる第2の波長で前記所定の周波数差と同じ周波数差を有する2光束を、前記投影光学系を介して前記回折格子状マークに照射する第2の光照射手段と、前記参照格子での回折によって発生する1組以上のヘテロダインビームを光電変換して参照ビート信号を発生する第1の光電検出手段と、前記回折格子状マークでの回折によって発生する1組以上のヘテロダインビームを光電変換して被検ビート信号を発生する第2の光電検出手段と、前記参照ビート信号と前記被検ビート信号との位相差に基づいて前記参照格子と前記回折格子状マークとの相対的な位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、前記感光基板上の回折格子状マーク上での前記第1の波長の2光束の照射位置と前記第2の波長の2光束の照射位置との計測方向に対する相対位置を調整する相対位置調整手段と、前記第2の波長の光束の光強度を小さくしたときの前記参照ビート信号と前記被検ビート信号との位相差Δφ1 及び前記被検ビート信号の振幅A1 と、前記第1及び第2の波長の光束の光強度を共に大きくしたときの前記参照ビート信号と前記被検ビート信号との位相差Δφ0 及び前記被検ビート信号の振幅A0 とに基づいて、仮想的に前記第1の波長の光束の光強度を小さくしたときの前記参照ビート信号と前記被検ビート信号との位相差Δφ2 を算出する演算手段と、該演算手段によって算出された位相差Δφ2 と前記位相差Δφ1 とが等しくなるように前記相対位置調整手段を駆動する制御手段と、を有することを特徴とするアライメント装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 1/08 , G03F 9/00

FI (7件)：

H01L 21/30 525 A , G03B 27/32 , G03F 1/08 A , G03F 9/00 H , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 516 B , H01L 21/30 525 M

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