特許

J-GLOBAL ID：200903068675069378

レジスト用バインダーおよびこれを用いたレジスト

発明者： 伊藤 浩光 ,  真柳 智之
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社 ,  三洋化成工業株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-048189
公開番号（公開出願番号）：特開2003-248312
出願日： 2002年02月25日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 低エネルギーで短時間に硬化でき、かつ、パターン形成能力(現像性)に優れるレジスト用バインダー及びレジストを提供すること。【解決手段】 ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が5,000〜30,000である重合体(A1)およびMw60,000〜150,000である重合体(A2)を含有してなることを特徴とするレジスト用バインダー、及び、該レジスト用バインダー、着色剤及び光重合開始剤を含んでなることを特徴とするレジスト。

請求項（抜粋）：

ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が5,000〜30,000である重合体(A1)およびMw60,000〜150,000である重合体(A2)を含有してなることを特徴とするレジスト用バインダー。

IPC (3件)：

G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 ,  G02B 5/20 101

FI (3件)：

G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 ,  G02B 5/20 101

Fターム (39件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC53 ,  2H025BC83 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025BC93 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA00 ,  2H025CC11 ,  2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4J027AA02 ,  4J027AJ01 ,  4J027AJ04 ,  4J027AJ08 ,  4J027CA03 ,  4J027CA07 ,  4J027CA10 ,  4J027CA12 ,  4J027CA14 ,  4J027CA18 ,  4J027CA19 ,  4J027CA26 ,  4J027CA27 ,  4J027CA29 ,  4J027CA34 ,  4J027CA36 ,  4J027CA38 ,  4J027CC03 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感光性着色組成物及びそれを用いたカラーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-219677   出願人：凸版印刷株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

• フェノール樹脂の合成・硬化・強靱化および応用, 20000120, p.44-47
• フェノール樹脂の合成・硬化・強靱化および応用, 20000120, p.44-47