特許
J-GLOBAL ID：200903068678179298
ICハンドラ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344615
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194411
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 供給トレイ1、プリヒート5、ローダシャトル6のそれぞれ異なるIC収納部の間隔に合わせてA.B2つのICヘッドが同時にIC13を吸着又は離脱動作ができるようにしたICハンドラを提供することにある。【構成】 ICヘッドBはロボット9,11に固定とし、ICヘッドAはモータ17、ボールねじ18、プーリー23,24にて移動させてICヘッドA.Bの間隔を可変させることができる構成とし、供給トレイ1、プリヒート5、シヤトル6のそれぞれ異なるIC収納部の間隔に合わせてA.B2つのICヘッドで2つのICの吸着および離脱動作を同時に行なわせる。【効果】 本発明によれば、2つのICヘッドの間隔が自由に設定できるので、各種のトレイに対しても、処理時間の短いICハンドラを提供でき生産性の向上に寄与できる効果がある。
請求項（抜粋）：
ICの吸着および離脱動作を行なう複数のICヘッドの間隔を水平方向に可変できるように構成し、その複数のICヘッドの間隔を、トレイ・プリヒート・シヤトルのそれぞれ異なるIC収納部の間隔に合致させて複数のICの吸着および離脱動作を同時に行なわせるようにしたことを特徴とするICハンドラ。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, B65G 47/08
, H01L 21/68
