特許

J-GLOBAL ID：200903068680349036

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 北條 泰広
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358891
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162743
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能で、シャープなネガ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体を提供する。【解決手段】 (A)エステル構造中にフェノール性OH基を有するポリイミド前躯体、(B)ジ(アセトキシメチル)ベンゼンなど、アセトキシメチル基置換芳香族環構造を含む化合物であって、上記の(A)ポリイミド前躯体をアルカリ水溶液に対して不溶化させる不溶化剤、(C)活性光線によって酸性を有する官能基を発生する光酸発生剤および(D)溶剤からなる感光性樹脂組成物であり、また、ポリイミド前躯体に光酸発生剤および不溶化剤を添加する樹脂溶剤の調製工程を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物の製造方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の繰返し単位をもつポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価の有機基であり、そしてR3 、R4 はフェノール性OH基を有する芳香族化合物の残基である)(B)アセトキシメチル基置換芳香族環構造を含む化合物であって、上記の(A)ポリイミド前躯体をアルカリ水溶液に対して不溶化させる不溶化剤、(C)活性光線によって酸性を有する官能基を発生する光酸発生剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (94件)：

2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025CB25 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EE037 ,  4J002EH037 ,  4J002EH157 ,  4J002EP017 ,  4J002EU027 ,  4J002EV206 ,  4J002EV246 ,  4J002EV256 ,  4J002EV296 ,  4J002EY026 ,  4J002FD146 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J002HA08 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA47 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043TA04 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA31 ,  4J043TA32 ,  4J043TA47 ,  4J043TA71 ,  4J043UA011 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA331 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB241 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043YA01 ,  4J043YA02 ,  4J043YA03 ,  4J043YA06 ,  4J043YA08 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50 ,  5F058AC02 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH01