特許

J-GLOBAL ID：200903068691166073

圧力センサ

発明者： 高橋 正人 ,  鶴岡 亨彦 ,  吉村 弘幸
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-087239
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285708
出願日： 1995年04月12日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 微小な圧力でも精度良く検出できるよう、圧力センサにおける検出感度の向上を図る。【構成】 1対の櫛歯状電極を組み合わせた電極6,7を圧電基板1上に離間して配置した超音波デバイス10から、液体13中に漏洩する弾性表面波(SAW)をダイアフラム3に反射させて液体遅延共振回路を構成し、ダイアフラム変位を周波数の変化として検出する形式の圧力センサにおいて、超音波を多重反射させる構成とすることにより、検出感度を向上させる。

請求項（抜粋）：

1対の櫛歯状電極をインターディジタル式に組み合わせた少なくとも2つの電極を圧電体基板上に互いに離間して配置することにより構成される入力用超音波素子および出力用超音波素子からなる超音波デバイスと、被測定対象の圧力変化に応動し超音波を反射するダイアフラムと、前記超音波デバイスとダイアフラムとを互いに離間して保持し、これら超音波デバイスおよびダイアフラムとともに液体を充満するための容器を構成するスペーサ部材と、前記出力用超音波素子で受けた信号を増幅し、前記入力用超音波素子に信号を入力する帰還増幅器とを有し、前記入力用超音波素子から液体中に放射された超音波が超音波デバイスとダイアフラムとの間を少なくとも2回往復して反射された後、出力用超音波素子で受信されるように構成することを特徴とする圧力センサ。