特許

J-GLOBAL ID：200903068699358966

磁気駆動回転導入装置

発明者： 妻木 伸夫 ,  橘内 浩之 ,  高橋 主人 ,  本間 和男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117456
公開番号（公開出願番号）：特開平5-316706
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 高真空中で搬送、ハンドリングする装置に大きな回転動力を導入可能とする。【構成】 駆動側磁極11aを中空円筒状のカバー18で覆い、カバー18の円筒面の内面の少なくとも一部を薄板隔壁9で形成し、薄板隔壁9を介して非接触に互いに結合する駆動側磁極11aと従動側磁極11bとを対向させて配設し、カバー18の端面の中央部にカバー18の他方の端面を支持しかつ駆動部磁極11aを回転自在に支承する柱状構造18aを固設した。【効果】 駆動側と従動側の磁極を薄板隔壁を介して狭い間隔で配置し、強度を柱状構造によって補強するため、真空と大気の圧力差による荷重に耐えることができ、真空チャンバの高真空を維持しながら大きな回転力を導入することができる。

請求項（抜粋）：

対向する駆動側磁極と従動側磁極とにより互いに回転連動する磁気駆動回転導入装置において、前記駆動側磁極を中空円筒状のカバーで覆い、該カバーの円筒面の少なくとも一部を薄板隔壁で形成し、該薄板隔壁を介して非接触に互いに結合する前記駆動側磁極と前記従動側磁極とを対向させて配設し、前記カバーのそれぞれの端面の中央部に前記駆動部磁極を回転自在に支承する柱状構造を固設したことを特徴とする磁気駆動回転導入装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-136779
  
• 特開平4-046781
  
• 特開平3-150041