磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法、磁気ディスク装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦康昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164774
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353315
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ECRスパッタ法によりカーボン膜を形成して、極薄膜でカバレージ良く磁性膜を保護できて、高硬度でしかも磁性膜が損傷を受けず、高信頼性を維持しつつ高密度磁気記録を実現する。情報を記録する場合(磁化を反転させる場合)、周囲の磁性粒子からの漏洩磁界の影響を受けたり、逆に、大きな粒子では磁気的な相互作用を与えるために、超40Gbit/inch2の超高密度記録時に、記録や再生の不安定化がある。【解決手段】基板と磁気記録用磁性膜からなる磁気ディスクでて、該磁気記録用磁性膜を外気から遮断したり、磁気ヘッドからうける衝撃から磁性膜を保護するために、磁性膜表面の磁気ヘッドと接する側に設ける薄膜をECRスパッタ法で形成して、上記の目的を実現できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも基板と磁性膜と保護膜からなる磁気記録媒体において、該保護膜が、ECRスパッタ法により作製した炭素薄膜であることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (3件)：

G11B 5/84 , G11B 5/66 , G11B 5/72

FI (3件)：

G11B 5/84 B , G11B 5/66 , G11B 5/72

Fターム (23件)：

5D006AA02 , 5D006AA05 , 5D006BB01 , 5D006BB02 , 5D006BB07 , 5D006CA01 , 5D006CA05 , 5D006CB04 , 5D006DA03 , 5D006EA03 , 5D006FA09 , 5D112AA02 , 5D112AA03 , 5D112AA05 , 5D112AA07 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA06 , 5D112BB05 , 5D112BB06 , 5D112BC05 , 5D112BD03 , 5D112FA04

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