特許

J-GLOBAL ID：200903068712441622

膜厚測定方法

発明者： 三原 俊朗
出願人/特許権者： 株式会社ヒューテック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-186761
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344316
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【目的】 干渉の影響を受けずに、走行するシート状の被測定材の膜厚を高精度で非接触で赤外光学式に測定する方法を得ることにある。【構成】 波長2、5ミクロン以上の赤外光を透過するバルブを有するフラッシュランプ21の赤外光を被測定材1に照射して、その乱反射光41を受光して基材12の膜11の厚さを測定する手段を具備した。

請求項（抜粋）：

波長2.5ミクロン以上の赤外光を透過するバルブを有する赤外のフラッシュランプを光源とし、被測定材を照射してその乱反射光の、少なくとも一波長は2.5ミクロンより長波長の赤外光を含む、赤外域の二波長以上の光を受光し、その二波長以上の赤外光の強度の比を算出して、被測定材の膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法。