特許
J-GLOBAL ID：200903068715951494
弾性表面波素子及び圧電振動素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166500
公開番号（公開出願番号）：特開平8-032399
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 電極部の腐食を防止し、しかも素子特性への影響を少なくする。【構成】 圧電性基板12の表面にすだれ状電極13と14を形成してフィルタを構成する弾性表面波素子において、基板面にフッ素化ポリイミド樹脂薄膜15を形成し、この薄膜を電極13、14の腐食に対する保護膜とする。フッ素化ポリイミド樹脂薄膜は、低い誘電率・低い熱膨張係数及び薄膜化により素子特性への影響を少なくする。
請求項（抜粋）：
圧電性基板面に電極を形成し、基板面を伝搬する弾性表面波を利用してフィルタ機能等を得る弾性表面波素子において、前記基板面に前記電極の腐食保護用にフッ素化ポリイミド樹脂薄膜を形成した構造を特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 9/02
, H03H 9/19
