特許
J-GLOBAL ID:200903068724094847

圧電振動角速度計用振動子の共振周波数調節方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大西 正悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-063072
公開番号(公開出願番号):特開平11-257969
出願日: 1998年03月13日
公開日(公表日): 1999年09月24日
要約:
【要約】【課題】 振動子の駆動側と検出側との共振周波数を一致させる調整を、正確且つ効率良く、しかも極めて簡単に行う。【解決手段】 四角柱状振動子101の側面に長手軸方向に延びる三つの細長い加工領域U,M,Lを設定し、上下領域U,Lの一方に小さな削り加工を施し、その前後における駆動側と検出側のインピーダンス-周波数特性波形の変化を検出し、両特性波形が似る方向に変化する場合には小さな削り加工を施した領域にさらに削り加工を施し、両特性波形が相違する方向に変化する場合には小さな削り加工を施した領域とは反対側の端部側領域に削り加工を施し、これによりインピーダンス-周波数特性波形がほぼ同一となると、次に、中央の加工領域Mに削り加工を施して上記両特性波形がほぼ同一のまま、駆動側と検出側の共振周波数を一致させる調節を行う。
請求項(抜粋):
四角柱状の圧電体により構成されてなる圧電振動角速度計用振動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数を略一致させるように調節する方法であって、前記圧電体における長手軸方向と平行な四つの側面のうちのいずれかの側面に、前記長手軸方向に延びて削り加工を施し、この削り加工量を調節して前記共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動角速度計用振動子の共振周波数調節方法。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04

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