特許
J-GLOBAL ID：200903068724334104
半導体加速度センサの自己診断方法並びに装置及びそれに用いられる半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160429
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 判断が容易かつ確実に行える半導体加速度センサの自己診断装置を提供すること【構成】 加速度センサ15の可動電極12に対し、積分器23の出力(ランプ電圧)を印加する。そして可動電極が固定電極13に接触した時のセンサの出力電圧V1′の値を判定回路26にて判断し、所定の範囲以下の場合には、出力V7がHとなり、OR素子27から異常信号Hが発する。所定の範囲内であれば出力V6がHとなり、信号変換処理回路17に動作開始信号を送り、通常の加速度検知状態に移る。所定の範囲を越えても両電極が接触しない時には、比較器28の出力がHとなり、OR素子から異常信号が発する。このように、ある電圧印加時に両電極が導通したか否かにより、センサの診断が行え、診断終了後は、スイッチ24が開きセンサへの電圧印加が解除され、両電極は離反する。
請求項（抜粋）：
静電容量型の半導体加速度センサの可動電極と固定電極との間に所定の電圧を印加し、両電極間に静電引力を発生させ、両電極が接触して導通したか否かを検出することにより正常に動作するか否かを判断するようにした半導体加速度センサの自己診断方法。
IPC (2件)：
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