特許
J-GLOBAL ID：200903068725482743
格子干渉型変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134492
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005323
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 検出系の構成を簡略化でき、装置の小型化を図ることができる格子干渉型変位検出装置の提供。【構成】 一つの偏光ビームスプリッタ14により、光源13からの光束を二波に分岐しかつその各分岐光束A,Bをスケール11の反射型の回折格子12上の同一回折点Pに入射させる光束分岐手段21と、スケール11の反射型の回折格子12によって回折された各1次回折光A1,B1を混合させる光束混合手段31とを兼用させて格子干渉型変位検出装置10を構成した。
請求項（抜粋）：
反射型の回折格子を有するスケールと、光束を出射する光源と、この光源からの光束を二波に分岐しかつその各分岐光束を前記スケールの回折格子上の同一点に入射させる光束分岐手段と、前記スケールの回折格子によって生成された複数の光束を混合させる光束混合手段と、この光束混合手段によって混合された混合波を電気信号に変換する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装置であって、前記光束分岐手段は、前記光源からの光束を互いに偏光方向が直交する二波に分岐する偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタで分岐した各分岐光束を反射して前記スケールの回折格子上の同一点に入射させる一対のミラーとを含み構成されるとともに、前記光束混合手段は、前記スケールの回折格子上で回折された二つの光束を反射して同一点に集める一対のミラーと、これらの一対のミラーで反射された二つの光束の交点位置に配置され偏光方向に応じて一方の光束を反射させかつ他方の光束を透過させることにより一つの混合波を生成する偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタで混合された混合波を二波に分岐する無偏光ビームスプリッタとを含み構成され、前記光束分岐手段を構成する偏光ビームスプリッタと前記光束混合手段を構成する偏光ビームスプリッタとは、兼用されていることを特徴とする格子干渉型変位検出装置。
IPC (2件)：
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