特許
J-GLOBAL ID：200903068726756146
電子ビーム発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068894
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283092
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】小消費電力でありながら、補助的光源を必要とせず、視野角が広くかつ時間応答性に優れ、かつ製造コストの低減が可能で、しかも画像分解能なディスプレイを構成することの可能な電子ビーム発生装置。【構成】厚さが50nm〜2μmの強誘電体薄膜12と、この強誘電体薄膜を挟んで設けられた下部並びに上部電極11,13とで、上部電極側に上部電極に形成された開口13aを介して電子を射出可能となっている。そして、強誘電体薄膜12の開口13aにより露出した箇所は半導体層14で覆われている
請求項（抜粋）：
下部電極と、この上に形成された強誘電体薄膜と、この上に形成され開口を有する上部電極と、上部電極の開口部により露出した強誘電体膜の少なくとも一部を覆う半導体層とを具備し、強誘電体膜から半導体層を介して電子ビームが射出される電子ビーム発生装置。
引用特許：
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