電子線照射装置の照射窓

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川瀬茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-249533
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072597
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】走査型電子線照射装置の窓箔の冷却のための桟は、電子線の方向に沿って傾けて取り付ける必要がある。傾斜角と桟の幅はみんな違うので桟の製作コストが高くなるし組立のコストも高い。窓箔冷却構造をより簡単にして材料コスト、組立コストを下げる。【解決手段】真空側に湾曲した複数のパイプを窓箔の上に走査方向に直交するように設け両端を照射窓の枠に固定し、パイプに冷却水を通すようにしている。

請求項（抜粋）：

真空中で電子線を発生させ加速し左右に走査し照射窓の窓箔を通して大気圧中の被処理物に照射する事とした電子線照射装置の窓箔を冷却するための機構であって、真空側に湾曲した複数のパイプを窓箔の上に走査方向に直交するように設け両端を照射窓の枠に固定し、パイプに冷却水を通すようにしたことを特徴とする電子線照射装置の照射窓。

IPC (2件)：

G21K 5/00 , G21K 5/04

FI (2件)：

G21K 5/00 D , G21K 5/04 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭52-090798
特開昭61-178700
特開昭52-090798

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