光学式変位センサおよび外力検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-147713
公開番号（公開出願番号）：特開2005-331261
出願日： 2004年05月18日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】装置の小径化を図るとともに、コストの低減を可能とした6軸力センサを提供する。【解決手段】支持部22に対する受力部23の相対変位を3個の受光素子1a、1b、1cを有する光学式変位センサによって検出し、前記支持部と受力部とに相対的に印加された外力を算出する外力検出装置20において、前記光学式変位センサは、前記受力部の中心軸上に配置され前記中心軸方向に光を出射する1個の光源2と、前記中心軸上に順次配設される光分岐体3および光反射体4と、前記支持部の外周部に120度回転対称に配設されるとともにそれぞれの受光面が前記受力部の中心軸を向く前記3個の受光素子とから構成され、前記3個の受光素子による前記光ビームの受光結果に基づいて、前記支持部に対する前記受力部の相対変位を検出する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

支持部に対する受力部の相対変位を3個の受光素子を有する光学式変位センサによって検出し、前記光学式変位センサからの信号に基づいて前記支持部と受力部とに相対的に印加された外力を算出する外力検出装置において、前記光学式変位センサは、前記受力部の中心軸上に配置され前記中心軸方向に光を出射する1個の光源と、前記中心軸上に順次配設される光分岐体および光反射体と、前記支持部の外周部に120度回転対称に配設されるとともにそれぞれの受光面が前記受力部の中心軸を向く前記3個の受光素子とから構成され、前記光源から出射した光を前記光分岐体に入射させることにより、120度回転対称方向に出射する3本の光ビームを生成させ、該生成した3本の光ビームを、前記光反射体に入射させることにより、前記中心軸に直交する面内方向に反射させた後、対応する前記受光素子の各々に入射させるように構成し、前記3個の受光素子による前記光ビームの受光結果に基づいて、前記支持部に対する前記受力部の相対変位を検出するものであることを特徴とする外力検出装置。

IPC (3件)：

G01L5/16 , G01B11/00 , G01L1/04

FI (3件)：

G01L5/16 , G01B11/00 A , G01L1/04

Fターム (24件)：

2F051AA10 , 2F051AB03 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA31 , 2F065AA65 , 2F065DD02 , 2F065FF09 , 2F065FF61 , 2F065GG07 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ22 , 2F065LL12 , 2F065LL42 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065RR06 , 2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-245028号公報

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