特許

J-GLOBAL ID：200903068741587229

流量制御装置

発明者： 小宮 勇 ,  土岐 育男
出願人/特許権者： 日本アエラ株式会社
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287870
公開番号（公開出願番号）：特開2002-099330
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 従来よりもさらに広い流量制御範囲において、さらに高い精度で質量流量の制御を行うことのできる流量制御装置を提供する。【解決手段】 流体を入力するための入力流路10を開閉する第1の開閉手段20、30と、入力流路を介して流体が供給される測定室40と、測定室に供給された流体の圧力を測定する圧力センサ50と、測定室から流体を出力するための出力流路70を開閉する第2の開閉手段80、90と、第1及び第2の開閉手段が入出力流路を閉じたときに圧力センサが測定した流体の圧力に基づいて流体の流量を測定し、測定結果に従って流体の流量を制御する制御手段100とを具備する。

請求項（抜粋）：

流体を入力するための入力流路を開閉する第1の開閉手段と、前記入力流路を介して流体が供給される測定室と、前記測定室の内部又は外部に設置され、前記測定室に供給された流体の圧力を測定する圧力センサと、前記測定室から流体を出力するための出力流路を開閉する第2の開閉手段と、前記第1及び第2の開閉手段が入出力流路を閉じたときに前記圧力センサが測定した流体の圧力に基づいて流体の流量を測定し、測定結果に従って流体の流量を制御する制御手段と、を具備する流量制御装置。

IPC (5件)：

G05D 7/06 ,  F16K 31/02 ,  G01F 1/86 ,  G01F 3/36 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

G05D 7/06 Z ,  F16K 31/02 A ,  G01F 1/86 ,  G01F 3/36 ,  H01L 21/205

Fターム (33件)：

2F030CA04 ,  2F030CD15 ,  2F030CE04 ,  2F030CF08 ,  2F030CF09 ,  2F035JB05 ,  3H062AA02 ,  3H062AA12 ,  3H062BB30 ,  3H062CC05 ,  3H062EE06 ,  3H062HH02 ,  3H062HH10 ,  5F045EC07 ,  5F045EE04 ,  5F045GB05 ,  5F045GB06 ,  5H307AA20 ,  5H307BB01 ,  5H307CC12 ,  5H307DD01 ,  5H307EE04 ,  5H307EE19 ,  5H307EE36 ,  5H307ES05 ,  5H307FF12 ,  5H307FF15 ,  5H307GG11 ,  5H307GG13 ,  5H307GG15 ,  5H307HH01 ,  5H307JJ01 ,  5H307JJ10