特許
J-GLOBAL ID：200903068742810231
光半導体の発光検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015529
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184529
出願日： 1995年01月04日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 完全に遮光し、チップの搬送路を確保できる発光検査装置を提供する。装置を自動化工程に組み込むことを可能とする。遮光カバーを安価に、コンパクト化する。【構成】 スライダ15が上死点位置のとき、ステージ14にLEDアレイ10を搭載し、プローブカード26と上側カバー29とを取付ステー17のセンサカバー20に装着する。スライダを下降させ、下死点位置で発光測定を行う。すなわち、この位置でプローブカードからアレイに電流を供給し、発光検査を行う。このとき、上側カバーは下側カバー31に嵌合し、アレイとフォトダイオード12との間の光路を含む空間40に外部光が侵入することを完全に防止する。
請求項（抜粋）：
発光素子を搭載した載置台と、載置台に対して接近離隔動自在に設けられた測定部材と、測定部材に支持され、測定部材が載置台に接近したとき発光素子に対向する測定センサと、測定部材に支持され、測定部材が載置台に接近したとき発光素子に対して電流を供給するプローブカードと、を有し、プローブカードから発光素子に電流を供給して発光検査を行う光半導体の発光検査装置において、上記発光検査時、発光素子と測定センサとの間の光路を含む空間に外部光が侵入することを防止する遮光カバーの少なくとも一部を、上記測定部材に取り付けたことを特徴とする光半導体の発光検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 33/00
