特許
J-GLOBAL ID：200903068747303303
光学素子の形状安定化法及びそれを用いた光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255800
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066297
出願日： 1991年09月07日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 高強度の光源を用いたときの温度上昇による光学素子の形状変化を防止した光学素子の形状安定化法及びそれを用いた光学装置を得ること。【構成】 光源からの光束を光学素子に入射させ、該光学素子を介した光束を利用するようにした光学装置において、該光学素子の温度分布を測定する温度分布測定手段と該温度分布測定手段からの信号に基づいて該光学素子を部分的に加熱し、該光学素子の熱歪みによる形状を制御する加熱手段とを設けたこと。
請求項（抜粋）：
光学素子の温度分布を温度分布測定手段で測定し、該温度分布測定手段からの信号に基づいて加熱手段により該光学素子を部分的に加熱して該光学素子の形状変化を制御したことを特徴とする光学素子の形状安定化法。
IPC (3件)：
G21K 1/06
, G02B 5/10
, H01S 3/08
