液体定量吐出装置および混合液体の一定比率混合装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006328
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144919
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】半導体製造工程において、ウェーハのエッチング不良発生を防止するため、脱イオン水とHFとを所定比率、たとえば、100:1の比率に正確に混合し得るようにした混合液体の一定比率混合装置を提供する。【構成】二重構造でなるテフロン容器1を利用して、その内部容器1aによりHFの量を正確に測定し、これをケミカル容器17′に吐出した後、電子秤20を利用して正確な量の脱イオン水をケミカル容器17′において混合させ、正確な比率の混合溶液を自動的に得るように構成された装置。

請求項（抜粋）：

第1の容器に供給される液体のレベルを感知する液体レベル感知部と、前記第1の容器から所定の容量だけの液体を第2の容器に吐出する液体定量吐出部と、第3の容器の液体を前記第1の容器に自動供給する液体自動供給部とを備える、液体定量吐出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , H01L 21/027 , H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-171138
特開昭63-272040

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