特許
J-GLOBAL ID：200903068750420817
プラネタリ型研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097037
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278014
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】[目的] 厚みの薄い水晶片を効率よく、損傷を生じることなく研磨することができるプラネタリ研磨装置を提供する。[構成] 回転中心に配設した太陽ギア8と、太陽ギア8の外周に配設したインターナルギア9と、研磨すべき圧電片15を保持する多数の保持孔を有し上記太陽ギア8およびインターナルギア9に歯合して遊星運動するキャリア14と、キャリア14の上面および下面に配設した上定盤10および下定盤7とを具備し、上記太陽ギア8、インターナルギア9、上定盤10、下定盤7を各別の駆動機構25、26、27、28で回転駆動すること、および各駆動機構は停止状態から所定の回転速度まで次第に増速し、所望の厚みにいたると次第に減速して停止する速度制御パターンで速度制御する。
請求項（抜粋）：
回転中心に配設した太陽ギアと、この太陽ギアの外周に同軸に配設したインターナルギアと、研磨すべき圧電片を保持する多数の保持孔を有し上記太陽ギアおよびインターナルギアに歯合して遊星運動するキャリアと、このキャリアの上面および下面に配設した上定盤および下定盤とを具備し、上記太陽ギア、インターナルギア、上定盤、下定盤を各別の駆動機構で回転駆動することを特徴とするプラネタリ型研磨装置。
引用特許：
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