特許
J-GLOBAL ID：200903068750584038
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065919
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258341
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 X軸およびY軸回りの角加速度とZ軸方向の加速度との3つの加速度を検出することができる加速度センサを提供する。【構成】 内側フレーム21から外側へ向かって順次、内側支持体24、重り22、外側支持体25、外側フレーム23を同心に配置する。支持体24,25は、曲げおよびねじり変形可能で、かつ面と平行な方向に変形しないような薄い膜または板状に形成する。内側支持体24の内周部には、X軸上において内側フレーム21と連結する内側連結部26,26を形成する。内側支持体24の外周部には、Y軸上において重り22と連結する外側連結部27,27を形成する。外側支持体25の内周部には、Y軸上において重り22と連結する内側連結部28を形成する。外側支持体25の外周部にはX軸上において外側フレーム23と連結する外側連結部29を形成する。
請求項（抜粋）：
フレームの内側または外側に重りが配置され、これらフレームと重りとの間に重りを変位可能に支持する支持体が配置され、上記重りと固定電極間の間隔変化に対応する静電容量の変化によって加速度を検出するようにした加速度センサにおいて、上記支持体を薄いリング状に形成し、この支持体の外周部の上記重りの中心を通るX軸と交差する2箇所には、支持体を上記フレームと上記重りとのうちの支持体の外側に配置された一方に連結する外側連結部を形成し、上記支持体の内周部の上記重りの中心を通るY軸と交差する2箇所には、支持体を上記フレームと上記重りとのうちの他方に連結する内側連結部を形成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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