特許
J-GLOBAL ID：200903068751589580
電子顕微鏡の汚染防止システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159501
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012173
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】走査型電子顕微鏡により試料を観察する際に試料表面に付着する汚染物を効率よく防止する方法を提供する。【解決手段】走査型電子顕微鏡で冷却により試料の汚染を防止する場合に冷却用の冷媒を必要な時にのみ供給するシステムにする。
請求項（抜粋）：
試料汚染防止装置を備えた電子顕微鏡において、圧力センサもしくは温度センサなどのモニタ手段を装着し、その値から汚染防止機能を動作させることを特徴とする電子顕微鏡の汚染防止システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 G
, H01J 37/18
