特許

J-GLOBAL ID：200903068759383639

平坦化装置及び平坦化方法

発明者： 味沢 治彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005696
公開番号（公開出願番号）：特開2000-202767
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、被研磨材を研磨布を用いて研磨し、被研磨材表面を平坦化する平坦化装置及び平坦化方法において、被研磨材の研磨速度の均一性を向上させ、被研磨材表面の平坦性をより均一にすることができる平坦化装置及び平坦化方法を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨定盤11の上部にダイアフラム12が内設され、エアー導入管13及びレギュレータ14を用いてダイアフラム12に導入した空気圧を制御して膨張又は収縮させるようになっている。そして、その際のダイアフラム12上面、即ち研磨定盤11上面の形状の変形に伴って、研磨定盤11上面に貼着されている研磨布15表面の形状を上向きに凸状にしたり、上向きに凹状にしたりする。このため、支持ヘッド17下面にセットしたウェーハ18表面の形状に対応して研磨布15表面の形状を変化させることが可能になる。

請求項（抜粋）：

支持ヘッド下面に保持した被研磨材を研磨定盤上に貼着した研磨布を用いて研磨し、前記被研磨材表面を平坦化する平坦化装置であって、前記研磨定盤上面の形状を変形して、前記研磨布表面の形状を変化させる手段を有することを特徴とする平坦化装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (11件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058AA19 ,  3C058AC04 ,  3C058BA05 ,  3C058BA07 ,  3C058BB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17