特許
J-GLOBAL ID：200903068759778145
静電容量式圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265860
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111206
出願日： 1996年10月07日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 高圧力を検出する用途に適用可能になると共に、構造の簡単化並びに寿命に対する信頼性の向上を同時に実現すること。【解決手段】 金属製のハウジング11は、受圧口12aを備えた円筒状のハウジング本体部12と、受圧口12aに臨むダイヤフラム部13とを一体に有する。セラミック製の基板14は、ダイヤフラム部13に対し所定ギャップを存した状態で対向する円形の検出電極15と、ハウジング本体部12の周辺部位に対し同様のギャップを存して対向する円環状の基準電極16とを有する。これによりダイヤフラム部13の上面と検出電極15との間で、当該ダイヤフラム部13の変形に応じて静電容量が変化する検出コンデンサCD が形成され、台状部12dの上面と基準電極16との間で、静電容量が一定状態となる基準コンデンサCR が形成される。処理回路用LSI19は、検出コンデンサCD 及び基準コンデンサCR の各静電容量の偏差に基づいてダイヤフラム部13に作用する圧力を検出する。
請求項（抜粋）：
圧力検出対象の流体が入り込む受圧口を備えたハウジング本体部と上記受圧口に臨むダイヤフラム部とを一体に形成して成る金属製のハウジングと、前記ダイヤフラム部の受圧面と反対側の面に対し所定のギャップを存した状態で対向配置された検出電極とを備え、前記受圧口を通じて前記ダイヤフラム部に作用する圧力を当該ダイヤフラム部及び前記検出電極間の静電容量の変化量に基づいて検出する構成としたことを特徴とする静電容量式圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 23/12
, G01L 9/12
, G01L 19/00
G01L 23/12
, G01L 9/12
, G01L 19/00 Z
