レプリカ回折格子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289409
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140310
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】レプリカ回折格子において基板と金属薄膜の間の接着剤の影響をなくすことを目的とする。【構成】マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させる。そして反転接着させた金属薄膜及び接着剤層の外周に酸化クロム薄膜などの低反射膜を被覆形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、反転接着させた金属薄膜及び接着剤層の外周に金属膜を被覆形成したことを特徴とするレプリカ回折格子

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭50-128536
特開昭59-065810
特開昭64-004703

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