特許

J-GLOBAL ID：200903068761845445

被加工物の研磨方法及び装置

発明者： 河西 敏雄 ,  土肥 俊郎 ,  市川 浩一郎 ,  稲田 安雄
出願人/特許権者： 河西 敏雄 ,  土肥 俊郎 ,  不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117391
公開番号（公開出願番号）：特開平8-309659
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【目的】 研磨加工における周期的運動の弊害を避けて高精度研磨加工を可能にする被加工物の片面研磨方法及び装置を提供する。【構成】 レンズ研磨装置10は下定盤12の研磨面12Aに被加工物支持板14を対向して配設し、被加工物支持板14に支持された被加工物23を研磨面12Aに接触する。この状態で、被加工物23を研磨面12Aに対して周期的な研磨運動軌跡で移動させて、研磨面12Aで被加工物23の片面を研磨加工する。このレンズ研磨装置10は位相変化手段16を備えている。そして、この位相変化手段16で被加工物23の周期的な研磨運動軌跡の位相をずらすことにより、研磨加工における運動の周期性の影響を緩和する。

請求項（抜粋）：

研磨工具面に接触させた被加工物を前記研磨工具面に対して周期的な研磨運動軌跡で移動させて前記被加工物を研磨加工する被加工物の研磨方法において、前記被加工物の研磨加工中に、前記被加工物の周期的な研磨運動軌跡の位相をずらすことを特徴とする被加工物の研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/04 B ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-295760
  
• 特開平1-153266
  
• 特開平4-019063