特許
J-GLOBAL ID：200903068765268612
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319454
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174767
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】水中においてACモードのAFM測定を行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】試料32は水30を入れた液体セル28の底部に配置される。カンチレバー24は自由端の探針26が試料表面に正対するように配置される。カンチレバー24は変位測定器12の対物レンズ14の軸方向に移動可能に支持されている。対物レンズ14の周囲には、発振器20から供給される信号に従って集束性の超音波を射出するリング状のトランスデューサー18が設けられている。対物レンズ14とトランスデューサー18は測定光と超音波が同一点に集束するように配置されている。液体セル28は、走査回路36の信号を受けてxy走査を行なうとともにサーボ回路38の信号を受けてzサーボ制御を行なう三次元アクチュエーター34に固定されている。
請求項（抜粋）：
液体を入れる液体セルで、その底面に液体に沈めて試料が配置される液体セルと、自由端に探針を有するカンチレバーで、探針が試料表面に僅かに離れて正対するように液体中に配置されるカンチレバーと、集束性の測定光をカンチレバー自由端に焦点を合わせて照射してその変位を測定する変位測定手段と、測定光の焦点と同じ位置に集束する超音波をカンチレバー自由端に照射してこれを振動させる超音波照射手段と、カンチレバー自由端の変位に基づいてその振幅を求める振幅算出手段と、試料の表面に沿って探針を走査する走査手段と、カンチレバー自由端の振幅に基づいて探針先端と試料表面の間隔を制御するサーボ手段と、走査手段とサーボ手段の出力に基づいて、探針の振動特性の探針試料間距離依存性や試料表面の三次元像を求め表示する演算表示手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
