特許
J-GLOBAL ID：200903068770911450
液晶表示基板の分断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022871
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235911
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【構成】 ステージ7上に、一対の基板からなるサンプル20を載置する。ステージ7をA方向に移動させ、高速回転しているダイシングブレード8にて分断ラインに沿って切り込みを入れる。このとき、切り込みの開始と同時に、除電冷却ブロアガン10から除電冷却風が吹付けられる。この除電冷却ブロアガン10には、空気冷却機5と除電ブロア電源部4とが接続されている。【効果】 ダイシング摩擦による静電気を除電すると共に、摩擦熱によるダイシングブレード8の加熱を抑制し、工程数を増加させることなく低コストにて、寸法精度、及び分断面精度良く、液晶表示基板を分断することができる。
請求項（抜粋）：
ブレードを備えたダイシング装置により、液晶表示基板を分断する液晶表示基板の分断方法において、ブレードにて液晶表示基板の分断を行うと同時に、除電効果と共に冷却効果を有する除電冷却風を吹き付けることを特徴とする液晶表示基板の分断方法。
IPC (4件)：
G02F 1/1333 500
, B26D 3/06
, B26D 7/18
, G02F 1/13 101
