特許

J-GLOBAL ID：200903068773789842

マイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法、マイクロレンズ用凹部付き基板、マイクロレンズ基板、透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタ

発明者： 清水 信雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133738
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340985
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】好適な視野角分布を有するマイクロレンズ基板を提供すること、前記マイクロレンズ基板の製造に好適に用いることができるマイクロレンズ用凹部付き基板を提供すること、該マイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法を提供すること、また、前記マイクロレンズ基板を備えた透過型スクリーンおよびリア型プロジェクタを提供すること。【解決手段】本発明のマイクロレンズ基板は、該基板の面方向に、複数個のマイクロレンズが形成されたものであり、平面視したときに長円形状を成すマイクロレンズを有することを特徴とする。マイクロレンズの短軸方向の長さは、10〜500μm、長軸方向の長さは、10〜1500μmである。また、マイクロレンズの短軸方向の長さをLa[μm]、マイクロレンズの長軸方向の長さをLb[μm]としたとき、1<Lb/La≦3の関係を満足する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基板上にマスクを形成するマスク形成工程と、 前記マスクに複数の初期孔を形成する初期孔形成工程と、 前記初期孔が形成された前記マスクを用いてエッチングを施し、前記基板上に、長円形状の複数のマイクロレンズ用凹部を形成するエッチング工程とを有することを特徴とするマイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法。

IPC (5件)：

G02B3/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  G03B21/62

FI (5件)：

G02B3/00 A ,  G02F1/13 505 ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/1335 ,  G03B21/62

Fターム (35件)：

2H021BA23 ,  2H021BA24 ,  2H021BA27 ,  2H021BA28 ,  2H021BA32 ,  2H088EA12 ,  2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H088HA21 ,  2H088HA24 ,  2H088HA28 ,  2H088HA30 ,  2H088MA20 ,  2H090JA02 ,  2H090JB02 ,  2H090LA10 ,  2H090LA12 ,  2H090LA16 ,  2H090LA17 ,  2H090LA20 ,  2H091FA23X ,  2H091FA26Y ,  2H091FA31X ,  2H091FA41X ,  2H091FA41Z ,  2H091FB03 ,  2H091FB04 ,  2H091FC02 ,  2H091FC15 ,  2H091FC23 ,  2H091FC24 ,  2H091GA01 ,  2H091GA17 ,  2H091LA30 ,  2H091MA07