特許
J-GLOBAL ID：200903068778931906
パターン検査装置およびその方法ならびにパターン検査処理プログラムを記録した記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-006938
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201919
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 パターン間の良否を正確に判定することを可能にする。【解決手段】 走査型電子顕微鏡からの画像信号をA/D変換し、画像データを得る第1のステップと、測定すべきパターンを含む基準画像に基づいて前記画像データから測定領域を切り出して設定する第2のステップと、前記測定領域から連続した所定本数のラインプロファイルデータからなる抽出領域を抽出する第3のステップと、この抽出領域の所定本数のラインプロファイルデータを加算平均処理する第4のステップと、加算平均処理されたラインプロファイルデータから測定パターンのエッジを検出し、エッジ間距離を求める第5のステップと、測定領域内において所定ライン本数分だけずらして抽出領域を求め、第4および第5のステップを実行することを、所定回数繰り返す第6のステップと、求められたエッジ間距離の最小値を算出し、パターン間距離とする第7のステップと、を備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡からの画像信号をA/D変換するA/D変換手段と、前記A/D変換手段の出力である画像データを記憶する画像メモリと、測定すべきパターンを含む基準画像を記憶する基準画像記憶手段と、前記基準画像に基づいて、前記画像メモリに記憶された画像データから測定領域を切り出して設定する測定領域設定手段と、前記測定領域を直交変換によって所定角度ずつ回転して複数個の回転された測定領域を得る画像回転手段と、前記測定領域および回転された前記測定領域の各々に対して、連続した所定本数のラインプロファイルデータからなる複数個の抽出領域を抽出するラインプロファイルデータ抽出手段と、複数個の前記抽出領域各々に対してラインプロファイルデータを加算平均処理する平均化処理手段と、加算平均処理されたラインプロファイルデータから測定すべきパターンのエッジを、複数個の前記抽出領域各々に対して検出するエッジ検出手段と、検出されたエッジからエッジ間距離を、複数個の前記抽出領域各々に対して求め、同一の測定領域から抽出され複数個の前記抽出領域から求められたエッジ間距離の最小値を前記測定領域のパターン間距離として、前記測定領域および複数の回転された測定領域各々に対して求め、更にこれらの複数のパターン間距離からパターン間の最短距離およびこの最短距離の方向を求めるパターン間距離演算手段と、前記パターン間距離演算手段の出力に基づいて、測定すべきパターンの良否を判定する判定手段と、を備えていることを特徴とするパターン検査装置。
IPC (6件)：
G01N 23/225
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
, H01L 21/66
G01N 23/225
, G01B 11/24 C
, H01J 37/22 502 H
, H01J 37/28 B
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, G06F 15/62 405 B
