特許
J-GLOBAL ID：200903068780935099
反射鏡並びにその使用及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281313
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 反射率を増大する複合層を備える反射鏡を提供する。【解決手段】 複合層は、反射体に面するアルミニウム層と、反射されるべき放射線に面するHI層である外側層と、LI層であるアルミニウム酸化物の中間層とを有するサンドイッチ構造を備えている。外側層は、屈折率n2 を有し、また中間層はn2 よりも小さい屈折率n1 を有している。LI層は、透明であると共に、アルミニウム層の陽極酸化によって製造され、且つ、20°Cにおいて6〜10.5の誘電率ε1 を有する、気孔の無いすなわち無孔のバリア層であり、LI層の光学的層厚dopt,1、及び、HI層の光学的層厚dopt,2 が、式[dopt,i=di・ni=li・λ/4±10nm,i=1,2]で表される。(式中、d1:LI層の厚み(nm)、d2:HI層の厚み(nm)、λ:反射鏡の表面に当たる光線の平均波長(nm)、l1 およびl2:奇数の自然数)
請求項（抜粋）：
反射体の反射面層としての反射率を増大する複合層を有する反射鏡であって、前記複合層は、前記反射体に面するアルミニウム層と、反射されるべき放射線に面する、HI層である外側層と、LI層であるアルミニウム酸化物の中間層とを有するサンドイッチ構造を備えており、前記外側層は屈折率n2 を有し、また、前記中間層は前記n2 よりも小さい屈折率n1 を有している反射鏡において、前記LI層は、透明であると共に、前記アルミニウム層の陽極酸化によって製造され、且つ、20°Cにおいて6〜10.5の誘電率ε1 を有する、気孔の無いすなわち無孔のバリア層であり、LI層の光学的層厚dopt,1、及び、HI層の光学的層厚dopt,2 が、以下の式で表され、dopt,i=di・ni=li・λ/4±10nm,i=1,2上式において、d1 はLI層の厚み(nm)であり、d2 はHI層の厚み(nm)であり、λは反射鏡の表面に当たる光線の平均波長(nm)であり、l1、l2は奇数の自然数であることを特徴とする、反射鏡。
IPC (5件)：
G02B 5/08
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
, C25D 11/04
, F21V 7/22
G02B 5/08 A
, G02B 5/08 C
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
, C25D 11/04 E
, F21V 7/22 A
