特許
J-GLOBAL ID:200903068790344803

圧電素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-305277
公開番号(公開出願番号):特開平6-045664
出願日: 1992年11月16日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】 圧電定数が高く、かつより小型の圧電素子を提供する。【構成】 径方向の振動モードを有する圧電材料8に電極9aおよび9bが設けられた圧電素子10であって、圧電材料8は、ポリマ7中に圧電セラミックスからなる複数の棒状体6′が30%〜50%の体積分率で分散して埋込まれたものである。
請求項(抜粋):
径方向の振動モードを有する圧電材料に電極が設けられた圧電素子であって、前記圧電材料は、ポリマ中に、圧電セラミックスからなる複数の棒状体が30%〜50%の体積分率で分散して埋込まれた、圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/08 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/26 ,  H01L 41/26
FI (2件):
H01L 41/08 H ,  H01L 41/22 C

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