高純度ガス用ボンベ弁

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317849
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141195
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】極微少パーティクルの極めて少ない高純度ガスを確実容易に供給出来るボンベによるガス供給設備を提供する。【解決手段】ボンベ弁において、弁本体のボンベ内開口部分にガスの濾過エレメントと逆止弁を一体化して設け、ボンベにガスを充填する場合においては主として逆止弁を通過してガスがボンベ内に充填され、ボンベよりガスを導出して使用する場合においては逆止弁は通過することが出来ず、濾過エレメントを通してガスがボンベ外に導出される構造とする。

請求項（抜粋）：

高純度ガス用のボンベに装着してガスの出入を行うボンベ弁において、ボンベ内に位置する弁本体1の下部に濾過エレメント3および逆止弁4を一体化して設け、ボンベにガスを充填する際においては主に逆止弁4よりガスを導入し、ボンベよりガスを導出し使用する際には、ガスが濾過エレメント3を通過して導出せしめる構造としたことを特徴とする高純度ガス用ボンベ弁。

Fターム (4件)：

3E072AA01 , 3E072DA05 , 3E072DB03 , 3E072GA30

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